普洛帝PMT-2电子级超纯水颗粒管控解决方案

什么是超纯水？

超纯水是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。

什么是电子级超纯水？

集成电路的生产，几乎每道工序都需要超纯水进行清洗，工件与水直接接触，而一方面芯片在加工过程中的微量玷污得到清洗，而另一方面纯水中的微量杂质又可能使芯片再污染，无疑对产品有着极大的影响。随着集成电路程度的进一步提高，对水中污染物要求亦将更为严格，从六十年代末期，美国五家公司提出的集成电路用纯水的水质指标以来，集成电路每前进一代，杂质都要减少1/2-1/10。美国材料实验学会（ASTM）1983、1990年颁发的电子级水质标准，已不能适应超大规模集成电路迅速发展的需要。目前ASTM提出了新的、更为严格的水质指标。

电子级超纯水的颗粒管控解决新方案

电子级超纯水的要求，就需要一款具备颗粒管控功能的仪器对超纯水的水质进行管控。对电子级超纯水里粒子的大小和数量的多少进行监控，进而判定电子级超纯水的级别和洁净度。普洛帝自主研发生产的PMT-2液体颗粒计数器，集成款专门是针对电子级超纯水颗粒进行管控的仪器。仪器主机将取样系统、检测系统和显示操作系统集成到一体，一台仪器就可以完成实时、在线、不间断的颗粒监测。是超纯水制备集成商，超纯水应用商，超纯水清洗产线不可多得的颗粒监控仪器。

PMT-2，液体颗粒计数器，采用英国普洛帝核心技术创新型的第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双精准流量控制-精密计量柱塞泵和超精密流量电磁控制系统，可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片等产品的在线或离线颗粒监测和分析，目前是英国普洛帝分析测试集团向水质领域及微纳米检测领域的重要产品。