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电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法

来源:普洛帝作者:普洛帝网址:http://www.puluody.com
文章附图

近期普洛帝测控液体颗粒计数器部门接到好几个咨询电话,都是咨询管控电子级硫酸的仪器。

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什么是电子级硫酸?电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂

电子级硫酸有哪些应用?电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒,无机残留物和碳沉积

为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控?电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品,主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子须达到 ppt

如何解决?针对这 2 个问题,普洛帝研发团队经过反复试验,攻破了这 2 个难点,将电子级硫酸的检测浓度提升到 98%。在高浓度强酸性的情况下,依然可以实现颗粒管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号 PMT-2,选用 0.1-1.0um检测范围的强腐蚀性传感器,实现了电子级硫酸的颗粒管控目的。目前,已经在江苏、广东等地的电子级硫酸生产企业得到了应用。