电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法

近期普洛帝测控液体颗粒计数器部门接到好几个咨询电话，都是咨询管控电子级硫酸的仪器。

什么是电子级硫酸？电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂

电子级硫酸有哪些应用？电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒，无机残留物和碳沉积物

为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控？电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到 ppt 级

如何解决？针对这 2 个问题，普洛帝研发团队经过反复试验，攻破了这 2 个难点，将电子级硫酸的检测浓度提升到 98%。在高浓度强酸性的情况下，依然可以实现颗粒管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号 PMT-2，选用 0.1-1.0um检测范围的强腐蚀性传感器，实现了电子级硫酸的颗粒管控目的。目前，已经在江苏、广东等地的电子级硫酸生产企业得到了应用。